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45nm 以上节点关键工艺,应用材料收购芬兰 ALD 技术先驱 Picosun
据报道,晶圆制造设备巨头应用材料收购了芬兰原子层沉积(ALD)技术的先驱 Picosun,后者研发的 ALD 技术被用于从逻辑和存储器到 LED、微机械 MEMS 器件和电源芯片的芯片制造。- 3
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